桌面型高性能磁控溅射系统 Desktop Pro提供了一种高性能,小巧,实惠的磁控溅射系统 节省空间 Desktop Pro只需要不到36英寸的空间(0.9m) 节省费用 一个电源可以驱动两个靶枪 均匀性好 倾斜的靶枪和旋转工件盘使得在整个工件盘上达到5%的镀膜均匀性 抽真空速度快 抽速65lps的涡轮分子泵,保证系统优秀的抽真空性能和对反应气体的负载能力 Desktop Pro产品彩页下载 强大的控制系统 基于PLC的触摸屏控制系统提供下列操作模式:维修模式,手动操作模式和半自动操作模式 互锁保护避免不适当操作对人员和设备的损害 典型应用 磁控溅射 磁控溅射 材料研究 产品质量控制和分析 半导体失效分析 纳米技术 复合半导体 可选项 磁控溅射 液氮冷阱 共溅射 射频/直流溅射电源 多靶枪 质量流量控制器,精确控制气体流量 泵选项 无油机械泵
桌面型高性能磁控溅射系统 Desktop Pro提供了一种高性能,小巧,实惠的磁控溅射系统
节省空间 Desktop Pro只需要不到36英寸的空间(0.9m)
节省费用 一个电源可以驱动两个靶枪
均匀性好 倾斜的靶枪和旋转工件盘使得在整个工件盘上达到5%的镀膜均匀性
抽真空速度快 抽速65lps的涡轮分子泵,保证系统优秀的抽真空性能和对反应气体的负载能力
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强大的控制系统 基于PLC的触摸屏控制系统提供下列操作模式:维修模式,手动操作模式和半自动操作模式
互锁保护避免不适当操作对人员和设备的损害
典型应用
磁控溅射
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